压力传感器内部弹性原件的两种制作方法

　　为了使压力传感器在生产过程中通过初始不稳定期模拟各种使用条件，使其尽快稳定，称为稳定处理，也称为人工老化试验。压力传感器释放残余应力有两种稳定处理方法，即热处理和机械处理。

　　1、热处理法。

　　铝合金压力传感器主要用于毛坯加工成弹性元件后的冷热循环法、反淬火法和恒温时效法。

　　（1）反淬火法。

　　在中国，也被称为深冷热法。将铝合金弹性元件放入-196℃液氮中，保温12小时，然后用新的高速蒸汽快速喷射或放入沸水中。因为相

　　互抵消，从而达到释放残余应力的目的。试验表明，液氮高速蒸汽法可降低残余应力84％，液氮沸水法可降低残余应力50％。

　　（2）冷热循环法。

　　冷热循环稳定性处理工艺为-196℃×4小时/190℃×4小时，循环3次，可使残余应力降低90％左右，组织结构稳定，微塑性变形抗力高，

　　尺寸稳定性好。残余应力的释放效果如此明显。第1，原子热运动能量增加，电矩阵失真减少或消失，内应力减少。上限温度越高，原子热运

　　动越大，塑性越好，释放残余应力越有利。第二，冷热温度梯度产生的热应力与残余应力相互作用，使其重新分配，从而降低残余应力。

　　（3）恒温时效法。

　　恒温时效可以消除热处理产生的残余应力，也可以消除机械加工产生的残余应力。当LY12硬铝合金在200℃高温下恒温时，残余应力释放

　　与时效时间的关系表明，24小时保温可使残余应力达到50％左右。

　　2.机械法。

　　机械方法的稳定性处理主要在测量传感器电路补偿、调整和保护密封后进行。主要工艺包括过载静压法、脉动疲劳法和振动时效法。

　　这些理论和观点往往是交叉的，因此振动及时性机制是一个复杂的过程。通过对振动及时性的实验研究，一些专家倾向于从材料力学的重复应力过载来解释振动及时性机制。换句话说，作用于弹性元件的振动应力与其内部残余应力相互作用，从而放松和释放残余应力。

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